D00600 - SEMI D6 - LCDマスク基板の仕様 Revision:SEMI D6-0211 - Superseded By this definition

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§8中的文件條款將適用於本安全指導方針發行後所售出之承載埠與晶圓搬運裝卸機器人，無論其設計或開發日期為何。

300 mmオープンカセット　（SEMI E1

本仕様を満たすためには，キャリアは所定の寸法内で製造しなければならず，製造者の指定する条件下の使用では，本仕様の範囲内で寸法的に安定していなければならない。

1-0211 (Reapproved 0623)

D00600 - SEMI D6 - LCDマスク基板の仕様 Revision:SEMI D6-0211 - Superseded By this definitionglobal Flat Panel Display Mask Committee20101221global Audits and Reviews Subcommittee20112www. semiviews. org www. semi. org199220083 LCD Referenced SEMI Standards SEMI P1 Specification for Hard Surface Photomask Substrates

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