This Practice together with the referenced standards may be used for process control
SEMI F63-0521 (technical revision)
SEMI M41-1101 (technical revision)
本スタンダードは，フラットパネルディスプレイ製品の再生産性およびすべてのベンダーが出荷するガラス基板の均一性を確保するために，ガラス基板に関する一定レベルの仕様を設けることを目的とする。また，本スタンダードにより，搬送装置およびカセット，製造装置内部のすべての機械的インタフェースの互換性も確保される。
本文書は，プロセシング状態モデル，収集イベント，アラームの文書化，リモートコマンド，変数項目，プロセスプログラム管理の領域で，ハンドラ装置の要求条件および能力を拡張している。
MF198200 - SEMI MF1982 - Test Method for Analyzing Organic Contaminants on Silicon Wafer Surfaces by Thermal Desorption Gas Chromatography Revision:SEMI MF1982-0317 (Reapproved 1023) - Current This Practice together with theOrganics are present in many materials, such as plastics, lubricants, cleansers, soaps, and living tissues. Some of these compounds are volatile and others can become airborne through chemical reactions, heating, abrasion, or outgassing. Organic compounds are present in many materials such as parts and components for cleanrooms, carriers, FOUP, developers, and organic removers. Some of these organic compounds are volatile and some can be discharged
