C08200 - SEMI C82 - Test Method for Particle Removal Performance of Liquid Filter Rated 20 to 50 nm With Liquid-Borne Particle Counter StdTpc-Terminology 免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

免責事項：　このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

The description of the test result

This edition was approved for publication by the global Audits and Reviews Subcommittee on April 15

1  This Guide provides the tools to describe individual wafers in a 3DS-IC process

The adaptation describes a method for performing the Test Method on coupons or wetted surface sections cut from gas supply system components or tubing

C08200 - SEMI C82 - Test Method for Particle Removal Performance of Liquid Filter Rated 20 to 50 nm With Liquid-Borne Particle Counter StdTpc-Terminology 免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡This Document is to provide a standard of monodispersed gold nanoparticle (GNP) challenge test for liquid filter rated 20 to 50 nm using optical liquid borne particle counter. This Document covers a monodispersed GNP challenge test method for 20 to 50 nm rated liquid filter. This Document defines a test condition for monodispersed GNP challenge test. The following areas are to be addressed in this Document: The test condition such as fluid, flow rate,