E08500 - SEMI E85 - ベイ間搬送システム用AMHSストッカーの共用性に関する仕様 Revision:SEMI E85-1108 - Superseded This Specification is a first

This Specification is a first step to standardize the communication between facility and monitoring components

do not require re-testing or re-certification until hardware or software design changes that could affect voltage sag immunity are implemented

7 psia)において50 slm以下（窒素換算）の流量調整をするシステムのコンポーネントに適用される。また，本スタンダードは，20° C において3445 kPa (500 psia)以下の使用圧のコンポーネントに適用される。

본 에디션은 글로벌 감사 및 평가 소위원회(Audits and Reviews Subcommittee)가 2015년 1월 5일에 간행을 승인했으며 2015년 2월에 www

本文書への適合評価は，UTVおよびUTVシステムすべてを対象とすべきであり，これにはレール，制御盤，電源盤，メンテナンス/サービス作業スペースからOHTやOHSを移動するリフター等の他に，UTVの運転

E08500 - SEMI E85 - ベイ間搬送システム用AMHSストッカーの共用性に関する仕様 Revision:SEMI E85-1108 - Superseded This Specification is a firstNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee2008829global Audits and Reviews Subcommittee200810www. semi. org1999620057 300 mm AMHS6 A B C D E F (a)3()3() 300 mm AMHS300 mm AMHSSEMI E15. 1 Referenced SEMI Standards SEMI